Validierung
Unter Validierung versteht man die Überprüfung der Funktionalität von Reinräume und reinraumtechnischen Anlagen. Sie wird mit Hilfe entsprechender Nachweismethoden unter Produktionsbedingungen durchgeführt. Es muss gezeigt werden, dass alle Herstellungsprozesse reproduzierbar zum gewünschten Ergebnis führen. Zuvor werden in einem Validierungsplan u.a. die genaue Zielsetzung, Prüfmethoden, Verantwortlichkeiten und Akzeptanzkritzerien genau definiert.